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本文標(biāo)題："STEM為掃描穿透電子顯微鏡-場(chǎng)發(fā)射式TEM加裝了掃描線圈與環(huán)狀暗視野偵測(cè)器"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2012-5-7 23:26:45 本站主頁(yè)地址：http://www.nhgjxq.cn
TEM的配備儀器
TEM可以搭配額外的儀器或配備以提升或增加它的性能，如STEM、HAADF、EELS和EDS，
STEM為掃描穿透電子顯微鏡，全名是Scanning Transmission Electron Microscopy，場(chǎng)發(fā)射式TEM加裝了掃描線圈與環(huán)狀暗視野偵測(cè)器(Annular Dark Field Detector, ADF)就成為了STEM，圖3.4.41為STEM的基本架構(gòu)圖，一般的TEM是利用物鏡光圈與入射電子束相對(duì)位置的改變來(lái)取得明暗視野的影像，而STEM則是利用不同角度的偵測(cè)器來(lái)區(qū)分，如圖3.4.42，明視野影像偵測(cè)器與電子束的夾角小于10mrad，而環(huán)狀暗視野偵測(cè)器則介于10到50mrad間，至于高角度環(huán)狀暗視野偵測(cè)器(High Angle Annular Dark Field Detector, HAADF)則是大于50 mrad
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