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本文標題:"微光學元件之制作與測量-測量顯微鏡價格!"

新聞來源:未知 發(fā)布時間:2013-2-9 18:49:21 本站主頁地址:http://www.nhgjxq.cn

在微直角錐反射鏡方面,我們對反射鏡所制做的路標其對比度會比

傳統(tǒng)的涂漆式路標其對比度要好上 1.64﹪~4.12﹪,因此可以證明

出微光學反射直角稜鏡的確優(yōu)于傳統(tǒng)式的路標。在微透鏡方面,我

們完成微米(μm)級的微小光學元件的設(shè)計與制作,而微透鏡陣列

光點收斂的聚焦點直徑也略大于繞射極限。在其它微光學元件方面,

我們也制作出微光柵繞射元件以及各種微柱狀鏡,并且利用 Matlab

分析其各元件之粗糙度,包括以小波函數(shù)轉(zhuǎn)換,目的只為了加強我

們微光學元件的實用性。未來將朝非球面鏡制作,并研究如何設(shè)計

更準確地控制加工深度,及如何研磨微光學元件,使本系統(tǒng)朝向更

高解析度之制程邁進,以滿足將來更高品質(zhì)之光學微系統(tǒng)需求。

本文中介紹的新穎 LIGA-like 微加工技術(shù),目前已整合在

激光光刻電鑄及模造技術(shù)中,近年來準分子激光加工技術(shù),由于其

相較于一般蝕刻技術(shù)擁有較精確和較高深寬比(aspect ratio)的

特性,且相較于電子束和 X-ray 光刻(lithography)技術(shù)在成本

效益的考量上便宜許多,已廣泛地應(yīng)用在許多微小結(jié)構(gòu)加工成型與

微細裝置光刻上。以準分子激光作為微光學陣列元件之制程技術(shù),

既快速又準確,足以取代現(xiàn)行之標準半導體制程模式,而且更短波

長(193nm)之準分子激光加工系統(tǒng),目前也純熟地不斷被開發(fā)出來,


未來更具彈性之微光學設(shè)計制作環(huán)境逐漸地實現(xiàn)。

此外,未來在 DVD 讀寫頭(picked up head)、激光二極體陣列

(diode laser arrays)、偵測器陣列(detector arrays)、光計算

(optical computing)、光連接(optical interconnection)與光

通訊(optical communication)等等應(yīng)用或結(jié)合平面光學

(planar-optics)與固態(tài)激光在微光電系統(tǒng)上將有更彈性之設(shè)計空

間與應(yīng)用領(lǐng)域等待開發(fā),尤其在消費性光電子產(chǎn)品中的CGH(computer

generated holograms)或 DOE(diffractive optical elements)

更迫切地需要以塑膠射出、壓克力壓膜、樹脂翻制等大量制造微光

學元件與系統(tǒng)組件時,準份子激光微加工制程方式提供了迅速、彈

性與廉價等優(yōu)勢。


 

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