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利用雙離子束濺鍍系統(tǒng)制備鎳鐵/鎳鐵氧化物納米交換偏壓雙層薄膜。
其中鎳鐵薄膜由Kaufman離子源直接濺鍍鎳鐵靶材,而鎳鐵氧化物薄膜由End-Hall離子源之氧氣
撞擊基材并動態(tài)氧化鎳鐵原子而得。著重氧含量對鎳鐵/鎳鐵氧化物雙層薄膜之微觀結構、
電子結構及交換偶合效應之影響,并探討鎳鐵/鎳鐵氧化物雙層薄膜之室溫及低溫磁性質(zhì)。
將組裝離子束濺鍍系統(tǒng)并找出可行的制程參數(shù),初步來了解不同制程條件與磁性的關系;
研究了解研究不同熱處理溫度、離子束能量、電流對微結構與磁性之影響;
研究了解不同納米尺寸鎳鐵/鎳鐵氧化物雙層薄膜顯微結構與交換偶合效應的關系及電子結構、
微結構與磁性的關系;針對界面特性之研究,
將執(zhí)行原子級分辨率電子結構相關實驗如原子級分辨率穿透電子能量損失
能譜儀與高解析穿透式電子顯微鏡
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