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本文標(biāo)題："精確激光測(cè)量?jī)x-表面粗糙度測(cè)量?jī)x器"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2014-8-24 23:02:19 本站主頁(yè)地址：http://www.nhgjxq.cn
精確激光測(cè)量?jī)x-表面粗糙度測(cè)量?jī)x器
激光測(cè)量系統(tǒng)提供給機(jī)床制造商和用戶(hù)機(jī)床精度定位必要的基本的側(cè)量組成
部件，使用補(bǔ)償數(shù)據(jù)校正機(jī)械的定位誤差。其基本系統(tǒng)包括一個(gè)激光光源、補(bǔ)償
電子器件、光學(xué)器件、電纜及配件。通常需要一臺(tái)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)和光學(xué)部件滿(mǎn)
足機(jī)械幾何性能的具體測(cè)量要求。為了校準(zhǔn)，整個(gè)系統(tǒng)應(yīng)能夠收集和分析不同的
測(cè)量數(shù)據(jù)，包括線(xiàn)性誤差、角度誤差、直線(xiàn)度誤差和垂直度誤差。一個(gè)線(xiàn)性激光
的測(cè)量分辨率可高達(dá)1nm。這是測(cè)量過(guò)程可以實(shí)現(xiàn)的高精度，它使用了以精確激
光波長(zhǎng)為基礎(chǔ)的距離測(cè)量計(jì)算，從而相比其他的測(cè)量系統(tǒng)具有更高的精度。兩頻
率激光技術(shù)還經(jīng)常用來(lái)消除光束強(qiáng)度變化所造成的種種問(wèn)題，從而得到更好的魯
棒性和可靠性。激光束基本上沿著干涉儀和相關(guān)反射鏡之間做相對(duì)運(yùn)動(dòng)，所以大
多數(shù)激光測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行的測(cè)量是一種線(xiàn)性測(cè)金。大多數(shù)情況下，干涉測(cè)量?jī)x是固
定的光纖，角錐梭鏡是移動(dòng)部件。其他測(cè)量如角度、直線(xiàn)度和垂直度測(cè)金，是基
本線(xiàn)性測(cè)量實(shí)現(xiàn)的特殊應(yīng)用。在許多激光測(cè)量系統(tǒng)中，誤差補(bǔ)償表在激光測(cè)量和
控制輸人獲得后可以自動(dòng)生成。這些表可用于伺服系統(tǒng)。
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