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本文標題："白光和多波長技術也常常應用其測量-輪廓顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2014-11-11 12:32:02 本站主頁地址：http://www.nhgjxq.cn
白光和多波長技術也常常應用其測量-輪廓顯微鏡
表面輪廓技術很多是由距離測量或焦距測定技術發(fā)展而來的，同時
它們也往往需要進行掃描來獲得面形輪廓。本章將介紹探針輪廓儀、
掃描探針顯微鏡、共焦顯微鏡及干涉光學輪廓儀。這些儀器都被廣泛
應用于表面面形的測定。而且既適用于極小的典型工程表面，也適用
于非球面和玻璃平板這樣大面形檢測。
掃描探針顯微鏡和探針輪廓儀，然后圍繞著近十年來發(fā)展的、
單色光及白光照明干涉顯微鏡，另外還對近年來被廣泛應用于工程表
面測量和共焦顯微鏡進行了介紹。
多波長干涉測量技術方面的工作，也就是雙波長和多波長、波長掃
描、光譜分析、白光干涉測量技術。白光和多波長技術也常常應用其
測量方法、比如散斑、全息及條紋和結構光投影過程。
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