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反饋系統(tǒng)主要由原子力顯微鏡系統(tǒng)中的控制器承擔。在系統(tǒng)流
程中,由位置檢測系統(tǒng)獲得的偏移量被轉化為電信號,在反饋系統(tǒng)
中這些電信號被當作內部調整的反饋信號,控制器依據此信號給掃
描管中的壓電陶瓷施加電壓,驅使壓電陶瓷做相應的伸縮移動,以
保持樣品與針尖之間保持合適和基本恒定的作用力。
反饋回路的作用在于:接受探針和樣品相互作用的強度的信息
,并以接受的信息為依據,改變加在樣品掃描管的電壓,從而改變
樣品和探針的相對距離,控制探針和樣品相互作用的強度,進而實
現反饋控制。目前大多數的商用掃描探針顯微鏡都采用數字反饋控
制回路,用戶可以通過計算機上的在線控制軟件中的參數工具欄更
改目標電壓(Setpoint),積分增益(Integral Gain),比例增益(Pr
oportional Gain)等幾個主要參數實現對反饋回路的控制,獲得最
真實的樣品表面性質信息。
原子力顯微鏡系統(tǒng)將力檢測系統(tǒng),位置檢測系統(tǒng),反饋系統(tǒng)這
三部分結合起來,構成~個閉環(huán)的控制回路,利用納米級別的探針
針尖觸摸樣品,將樣品表面的物理化學信息呈現出來。
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