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工件輪廓?jiǎng)討B(tài)三維表面量測(cè)的應(yīng)用-測(cè)量
顯微鏡
嶄新的動(dòng)態(tài)三維表面輪廓量測(cè)方法,是根據(jù)傅立葉輪廓術(shù)(FTP;Fourier Transform Profilometry)與相移輪廓術(shù)
(PSP;Phase Shifting Profilometry)所定義的一種可以達(dá)到即時(shí)量測(cè)的複合式條紋輪廓術(shù)(CFP;Composite Fringe
Profilometry),這是一種可以接近媲美PSP的量測(cè)精度,但是同時(shí)可以達(dá)到動(dòng)態(tài)三維形貌量測(cè)之創(chuàng)新動(dòng)態(tài)形貌量測(cè)技術(shù)。
將不同相位的正弦條紋進(jìn)行色彩編碼,以組合形成一種具獨(dú)特性的結(jié)構(gòu)圖案并且投影至物體表面上,
利用高速影像單元取像,并且由特制的帶通濾波器(band-pass filter)進(jìn)行處理。
能夠以最高取像速度進(jìn)行三維影像之重建能力(目前可達(dá)數(shù)百Hz以上),主要原理乃利用FTP萃取出的RGB結(jié)構(gòu)條紋并
同步進(jìn)行三步相位重建。在初步的驗(yàn)證階段,本方法將可以達(dá)到接近于傳統(tǒng)相移術(shù)的量測(cè)精度與重複度,
并且可即時(shí)獲得三維影像資訊的能力。
針對(duì)標(biāo)準(zhǔn)階高量測(cè)所產(chǎn)生之最大誤差可控制在全高量測(cè)范圍的1.231%以內(nèi),
而準(zhǔn)確度、精密度以及標(biāo)準(zhǔn)差可達(dá)到全高量測(cè)范圍的0.744%、0.334%以及0.0387%。
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